Pengawas sekolah / madrasah merupakan salah satu komponen pendidikan yang berperan dalam meningkatkan kualitas pendidikan. Pengawas dalam melaksanakan tugas-tugas kependidikan bukan hanya sebagai seorang supervisor pendidikan, namun merangkap pula sebagai konselor, motivator agar tercipta suasana kondusif dalam proses belajar mengajar di sekolah/madrasah. Oleh karena itu kompetensi kinerja pengawas dalam upaya peningkatan mutu madrasah sangatlah diperlukan. Penelitian ini menggunakan pendekatan kualitatif dengan tujuan untuk mendeskripsikan kinerja pengawas madrasah dalam: (1) perencanaan program kepengawasan, (2) pelaksanaan program kepengawasan, (3) evaluasi hasil pelaksanaan program kepengawasan dan (4) kendala pengawasan dalam melaksanakan tugas. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) kinerja pengawas madrasah di daerah sasaran penelitian dalam perencanaan program kepengawasan tergolong dalam kategori baik dengan skor 85,68, (2) kinerja pengawas dalam pelaksanaan program kepengawasan tergolong dalam kategori baik dengan skor 76,25 , (3) kinerja pengawas dalam evaluasi hasil pelaksanaan program kepengawasan tergolong dalam kategori baik dengan skor 85,42. Kinerja pengawas dalam pengawasan manajerial tergolong dalam kategori amat baik dengan skor 40,62, kinerja pengawas dalam pengembangan profesi tergolong dalam kategori kurang dengan skor 56,25. Kinerja pengawas menurut persepsi kepala madrasah tergolong dalam kategori baik dengan skor 78,12 dan kinerja pengawas menurut persepsi guru tergolong dalam kategori baik dengan skor 77,08, (4) terdapat beberapa kendala / permasalahan pengawas dalam melaksanakan tugas pokok seperti terlalu banyak beban kerja

Kata kunci: kinerja, pengawas madrasah